sem測(cè)試方法（sem的測(cè)試原理）

大家好！今天讓創(chuàng)意嶺的小編來(lái)大家介紹下關(guān)于sem測(cè)試方法的問(wèn)題，以下是小編對(duì)此問(wèn)題的歸納整理，讓我們一起來(lái)看看吧。

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本文目錄:

• 1、SEM掃描電鏡圖怎么看，圖上各參數(shù)都代表什么意思

• 2、跪求PCB行業(yè)中SEM+EDS測(cè)試方法，非常感謝??！

• 3、通過(guò)測(cè)SEM怎么知道材料中各元素的含量，準(zhǔn)確不？

• 4、名詞解釋：1、SPS燒結(jié) 2、SEM測(cè)試

一、SEM掃描電鏡圖怎么看，圖上各參數(shù)都代表什么意思

1、放大率：

與普通光學(xué)顯微鏡不同，在SEM中，是通過(guò)控制掃描區(qū)域的大小來(lái)控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要掃描更小的一塊面積就可以了。放大率由屏幕/照片面積除以掃描面積得到。

所以，SEM中，透鏡與放大率無(wú)關(guān)。

2、場(chǎng)深：

在SEM中，位于焦平面上下的一小層區(qū)域內(nèi)的樣品點(diǎn)都可以得到良好的會(huì)焦而成象。這一小層的厚度稱為場(chǎng)深，通常為幾納米厚，所以，SEM可以用于納米級(jí)樣品的三維成像。

3、作用體積：

電子束不僅僅與樣品表層原子發(fā)生作用，它實(shí)際上與一定厚度范圍內(nèi)的樣品原子發(fā)生作用，所以存在一個(gè)作用“體積”。

4、工作距離：

工作距離指從物鏡到樣品最高點(diǎn)的垂直距離。

如果增加工作距離，可以在其他條件不變的情況下獲得更大的場(chǎng)深。如果減少工作距離，則可以在其他條件不變的情況下獲得更高的分辨率。通常使用的工作距離在5毫米到10毫米之間。

5、成象：

次級(jí)電子和背散射電子可以用于成象，但后者不如前者，所以通常使用次級(jí)電子。

6、表面分析：

歐革電子、特征X射線、背散射電子的產(chǎn)生過(guò)程均與樣品原子性質(zhì)有關(guān)，所以可以用于成分分析。但由于電子束只能穿透樣品表面很淺的一層（參見(jiàn)作用體積），所以只能用于表面分析。

表面分析以特征X射線分析最常用，所用到的探測(cè)器有兩種：能譜分析儀與波譜分析儀。前者速度快但精度不高，后者非常精確，可以檢測(cè)到“痕跡元素”的存在但耗時(shí)太長(zhǎng)。

觀察方法：

如果圖像是規(guī)則的（具螺旋對(duì)稱的活體高分子物質(zhì)或結(jié)晶），則將電鏡像放在光衍射計(jì)上可容易地觀察圖像的平行周期性。

尤其用光過(guò)濾法，即只留衍射像上有周期性的衍射斑，將其他部分遮蔽使重新衍射，則會(huì)得到背景干擾少的鮮明圖像。

擴(kuò)展資料：

SEM掃描電鏡圖的分析方法：

從干擾嚴(yán)重的電鏡照片中找出真實(shí)圖像的方法。在電鏡照片中，有時(shí)因?yàn)楸尘案蓴_嚴(yán)重，只用肉眼觀察不能判斷出目的物的圖像。

圖像與其衍射像之間存在著數(shù)學(xué)的傅立葉變換關(guān)系，所以將電鏡像用光度計(jì)掃描，使各點(diǎn)的濃淡數(shù)值化，將之進(jìn)行傅立葉變換，便可求出衍射像〔衍射斑的強(qiáng)度（振幅的2乘）和其相位〕。

將其相位與從電子衍射或X射線衍射強(qiáng)度所得的振幅組合起來(lái)進(jìn)行傅立葉變換，則會(huì)得到更鮮明的圖像。此法對(duì)屬于活體膜之一的紫膜等一些由二維結(jié)晶所成的材料特別適用。

掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過(guò)對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。

參考資料：百度百科-掃描電子顯微鏡

二、跪求PCB行業(yè)中SEM+EDS測(cè)試方法，非常感謝?。?/strong>